英文名称 : Vacuum technology—Vocabulary

内容简介 : 本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。 本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

英文名称 : Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications,calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

内容简介 : 本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

英文名称 : Vacuum technology—Standard methods for measuring vacuum pump performance—Part 3:Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps

内容简介 : 本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增...

英文名称 : Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement

内容简介 : 本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。 本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。 根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对...

英文名称 : Vacuum technology—Vacuum gauges—Procedures to measure and report outgassing rates

内容简介 : 本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。 总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙...

英文名称 : Vacuum technology—Vacuum gauges—Specification for hot cathode ionization gauges

内容简介 : 本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语，并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数，以及在操作这些仪表时，需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。 a）　本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。 b）　热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高...

英文名称 : Vacuum technology—Standard methods for measuring vacuum-pump performance—Part 2:Positive displacement vacuum pumps

内容简介 : GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法，该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中，有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵，例如牵引泵。

英文名称 : Vacuum technology—Standard methods for measuring vacuum-pump performance—Part 1:General description

内容简介 : GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法，并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。 测量体积流率的第一种方法（流量法）是一种基础方法：向真空泵内注入稳定流量的气体，同时测量泵的入口压力。在实际测量中，气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此，规定了另两种方法，以避免直接测量流量。 测量体积流率的第二种方法（小孔法）适用于入口压力非常低（...

英文名称 : Vacuum gauges—Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers

内容简介 : 本标准界定了四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比（m/z）小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源，以及主要用于检测质荷比（m/z）大于300的特定有机物质的四极质谱仪，不在本标准适用范围内。

英文名称 : Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer

内容简介 : 本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。