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本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。
标准编号：GB/T 3163-2024
标准名称：真空技术 术语
英文名称：Vacuum technology—Vocabulary
标准状态：现行
发布日期：2024-09-29
实施日期：2024-09-29
出版语种：中文简体
起草单位：东北大学、台州职业技术学院、浙江飞越机电有限公司、兰州空间技术物理研究所、淄博真空设备厂有限公司、北京东方计量测试研究所、合肥工业大学、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、沈阳理工大学、暨南大学、安徽万瑞冷电科技有限公司、中科九微科技有限公司、兰州真空设备有限公司、泊肃叶科技(沈阳)有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东欧莱高新材料股份有限公司、台州瑞晶机电有限公司、中山火炬职业技术学院、南京真空泵厂有限公司、北京通嘉宏瑞科技有限公司、北京航空材料研究院股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：23.160
中标分类号：J78
代替标准：GB/T 3163-2007
被代替标准：
