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本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm~300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。
标准编号:GB/T 44849-2024
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法
英文名称:Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
标准状态:即将实施
发布日期:2024-10-26
实施日期:2025-05-01
出版语种:中文简体
起草单位:合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知(合肥)技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司
发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号:31.080.99
中标分类号:L59
代替标准:
被代替标准: