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本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
标准编号：GB/T 44538-2024
标准名称：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
英文名称：Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
标准状态：即将实施
发布日期：2024-09-29
实施日期：2025-04-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：25.220.99
中标分类号：A29
代替标准：
被代替标准：
