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标准简介
适用范围：
本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入/输出接口的信号定义、信号传送要求、异常处理，以及连接器和传感器的要求。
本文件适用于半导体制造领域、用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送操作。
标准编号：GB/T 44631-2024
标准名称：晶片承载器传输并行接口要求
英文名称：Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface
标准状态：即将实施
发布日期：2024-09-29
实施日期：2025-04-01
出版语种：中文简体
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、浙江中聚材料有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：31.260
中标分类号：L97
代替标准：
被代替标准：
