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本文件描述了用于压电式微传感器和微执行器等器件的压电薄膜机电转换特性测量方法。
本文件适用于MEMS工艺制备的压电薄膜。
标准编号：GB/T 44515-2024
标准名称：微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
英文名称：Micro-electromechanical system(MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
标准状态：即将实施
发布日期：2024-09-29
实施日期：2025-01-01
出版语种：中文简体
起草单位：北京自动化控制设备研究所、安徽奥飞声学科技有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、太原航空仪表有限公司、中国航天科工飞航技术研究院、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、北京遥测技术研究所、西安交通大学、北京晨晶电子有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、天津新智感知科技有限公司、上海芯物科技有限公司、天津大学、北京大学、河北初光汽车部件有限公司、共达电声股份有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、华景传感科技(无锡)有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：31.080.99
中标分类号：L59
代替标准：
被代替标准：
