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标准编号: GB/T 25915.17-2024
标准名称: 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用
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标准简介
适用范围:

作为污染控制计划的一部分,本文件对洁净室易损表面上粒子沉积速率(PDR)测量结果的解释和应用提供了指导。提供了PDR的影响因素和降低易损表面上粒子污染风险的说明。
本文件提供了洁净室测量PDR来确定易损表面上大粒子的可接受浓度限值和风险评估方法,能确定粒子沉积到易损表面的可接受风险。当风险不可接受时,则需要采取洁净控制措施来降低PDR。
粒子遮蔽速率(POR)是一种替代PDR的方法,其定义为粒子在表面上随时间增加的覆盖率。POR的使用方式与PDR类似,也用于计算指定表面所需的POR,以降低沉积粒子的风险。
本文件:
——不提供根据PDR或POR对洁净室的分级方法;
——不直接考虑沉积的携带微生物粒子的活性;
——不考虑通过接触产生的表面沉积,例如人员触摸产品导致的污染。

读者对象:

基本信息

标准编号:GB/T 25915.17-2024

标准名称:洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17:Particle deposition rate applications

标准状态:即将实施

发布日期:2024-08-23

实施日期:2025-03-01

出版语种:中文简体

起草单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特(厦门)净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司

发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

标准分类号

标准ICS号:13.040.35

中标分类号:C70

关联标准

代替标准:

被代替标准: