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标准简介
适用范围：
本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。
读者对象：标准编号：GB/T 43915-2024
标准名称：纳米几何量标准样板测试方法
英文名称：Testing method for nano geometric standard samples
标准状态：现行
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、同济大学、天津大学、中国计量科学研究院、广西壮族自治区计量检测研究院、中国测试技术研究院、苏州天准科技股份有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：17.040.30
中标分类号：J42
代替标准：
被代替标准：
