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标准编号： GB/T 43965-2024
标准名称： 电子级正硅酸乙酯
标准简介
适用范围：
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
读者对象：标准编号：GB/T 43965-2024
标准名称：电子级正硅酸乙酯
英文名称：Electronic grade ethyl orthosilicate
标准状态：现行
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
出版语种：中文简体
起草单位：金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：31.030
中标分类号：L90
代替标准：
被代替标准：
