本文件描述了用安装在扫描电镜（SEM)或电子探针（EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。
本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。
本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。
注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本文件主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。
目前没有公认的轻元素的准确能谱法（EDS)定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的 EDS方法。
a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录 A 中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。
b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素（Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。
c) 通过差值法计算浓度，即用100％ 减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定试样中的其他元素。
附录A总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪（WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。然而，许多其他问题对于这两种技术来说都是共同的。