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本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。
标准编号：GB/T 42659-2023
标准名称：表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
英文名称：Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
标准状态：现行
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：71.040.40
中标分类号：G04
代替标准：
被代替标准：
