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标准简介
适用范围：
本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜(以下简称薄膜)横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。
标准编号：GB/T 42674-2023
标准名称：光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
英文名称：Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness
标准状态：现行
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、凯鑫森(上海)功能性薄膜产业股份有限公司、东莞市光志光电有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：71.080.99
中标分类号：G15
代替标准：
被代替标准：
