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本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
标准编号：GB/T 35306-2023
标准名称：硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
英文名称：Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
标准状态：现行
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
出版语种：中文简体
起草单位：青海芯测科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、高景太阳能股份有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：77.040
中标分类号：H17
代替标准：GB/T 35306-2017
被代替标准：
