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本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
读者对象：标准编号：GB/T 26111-2023
标准名称：微机电系统(MEMS)技术 术语
英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms
标准状态：现行
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
出版语种：中文简体
起草单位：中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：31.080.99
中标分类号：L59
代替标准：GB/T 26111-2010
被代替标准：
