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标准编号： GB/T 42106-2022
标准名称： 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准简介
适用范围：
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
读者对象：标准编号：GB/T 42106-2022
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态：即将实施
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：07.030
中标分类号：A42
代替标准：
被代替标准：
