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标准简介
适用范围：
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014 cm-3。注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
读者对象：标准编号：GB/T 42263-2022
标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
标准状态：现行
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：77.040
中标分类号：H17
代替标准：
被代替标准：
