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本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3，元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。
读者对象：标准编号：GB/T 41153-2021
标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
标准状态：即将实施
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司
发布部门：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准ICS号：77.040
中标分类号：H17
代替标准：
被代替标准：
