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标准简介
适用范围：
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
读者对象：标准编号：GB/T 34177-2017
标准名称：光刻用石英玻璃晶圆
英文名称：Quartz glass wafer for lithography
标准状态：现行
发布日期：1800-01-01
实施日期：2018-08-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准ICS号：81.040.30
中标分类号：Q35
代替标准：
被代替标准：
