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标准简介
适用范围：
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
标准编号：YS/T 24-2016
标准名称：外延钉缺陷的检验方法
英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers
标准状态：现行
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
出版语种：中文简体
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准ICS号：77.040
中标分类号：H21
代替标准：YS/T 24-1992
被代替标准：
