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标准编号: GB/T 29845-2013
标准名称: 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
标准简介
适用范围:

本标准给出了半导体制造设备(SME)在供应商工厂的最终装配(总装)、包装、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。
本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配(总装)、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。
本标准不包含与环境、健康和安全(EHS)相关的特殊要求,也不适用于与晶片粒子或晶片质量(如离子污染度)相关的加工过程规范。

读者对象:

基本信息

标准编号:GB/T 29845-2013

标准名称:半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

英文名称:Guide for final assembly,packaging,transportation, unpacking,and relocation of semiconductor manufacturing equipment

标准状态:现行

发布日期:

实施日期:2014-04-15

出版语种:中文简体

起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

标准分类号

标准ICS号:31.550

中标分类号:L95

关联标准

代替标准:

被代替标准: