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标准简介
适用范围：
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01 nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
使用扫描探针显微镜进行测量工作的技术人员。
标准编号：GB/T 29190-2012
标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
标准状态：现行
发布日期：
实施日期：2013-06-01
出版语种：中文简体
起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准ICS号：17.180.99
中标分类号：A60
代替标准：
被代替标准：
